潔凈室的送風(fēng)量與排風(fēng)量之間保持一定的風(fēng)量差(稱(chēng)為余風(fēng)量)，必然會(huì )導致潔凈室產(chǎn)生一定的壓差。余風(fēng)量(氣流追蹤)控制即控制系統實(shí)時(shí)測量風(fēng)量(送風(fēng)和排風(fēng)量)變化，通過(guò)調節送風(fēng)量或排風(fēng)量，動(dòng)態(tài)的達到相應的風(fēng)量平衡，使送風(fēng)量和排風(fēng)量之間保持恒定的風(fēng)量差，從而維持恒定的壓差?？刂葡到y利用氣流測量裝置實(shí)時(shí)測量送風(fēng)量和排風(fēng)量，排風(fēng)量可以在排風(fēng)主管上測量，在各個(gè)單獨的排風(fēng)上進(jìn)行測量并求和，控制器據此調節送風(fēng)量，使其追蹤排風(fēng)量的變化，保持一定的余風(fēng)量，從而達到所希望的壓差值?？梢钥闯鲇囡L(fēng)量控制是一個(gè)開(kāi)環(huán)控制系統?？梢杂?strong>斜管壓差計測試壓差控制效果。

　　在這里，余風(fēng)量就是達到所希望壓差時(shí)滲人或滲出潔凈室的空氣流量(單位為CFM)。負的余風(fēng)量即總排風(fēng)量大于總送風(fēng)量，它將導致負壓的產(chǎn)生，而正的余風(fēng)量則是總送風(fēng)量大于總排風(fēng)量，它將導致正壓產(chǎn)生。

　　在風(fēng)量等式中，余風(fēng)量是定值。但在實(shí)際情況下，它是變化的，例如當流量傳感器發(fā)生偏移時(shí)，實(shí)際的余風(fēng)量也將發(fā)生變化。因此，應該考慮選擇足夠大的余風(fēng)量來(lái)彌補由于圍護結構氣密程度、風(fēng)管泄漏以及流量測量裝置精度誤差等造成的影響。

　　純壓差控制方法相對而言簡(jiǎn)單明了，其基本原理如圖1。其控制原理為:壓差傳感器測量室內與參照區域的壓差(OP)，與設定點(diǎn)(即期望的壓差)比較后，控制器根據偏差按PID調節算法對送風(fēng)量(或排風(fēng)量)進(jìn)行控制，從而達到要求的壓差?？梢钥闯?，送風(fēng)量(或排風(fēng)量)是壓差(Δp)、設定點(diǎn)以及PID常數(α，β)的函數。

　　另外一種相似的壓差控制方法則是根據伯努利原理，利用一個(gè)裝在小管內的風(fēng)速探頭，將小管置于潔凈室與參照區之間的開(kāi)孔中，由于潔凈室內與參照區的壓力差將使空氣從此小管中流過(guò)，管中的風(fēng)速探頭就可傳感潔凈室內與參照區之間的空氣流速，從而根據伯努利原理利用風(fēng)速計算出潔凈室與參照區的壓差，根據此壓差信號，按照上述的方法，控制器對潔凈室的送風(fēng)或排風(fēng)量進(jìn)行控制，達到所期望的壓差值，這樣的方法稱(chēng)為“偽壓差”控制方法。